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激光溅射喷镀薄膜计算机控制系统

激光溅射喷镀薄膜计算机控制系统适用领域
科学院,有色金属研究院,大学科研课题研究
激光应用 晶体研究 超导物理

  • 产物型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2017-03-10
  • 访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量:1642
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详细介绍

激光溅射喷镀薄膜计算机控制系统

适用领域

  • 科学院,有色金属研究院,大学科研课题研究

  • 激光应用 晶体研究 超导物理

  • 型号

  • JJH-PLDC

  • 系统功能指标

  • 计算机按程序控制基片加热系统的真空炉体温度,使炉体温度按设定程序曲线运行,包括升温段、恒温段、降温段

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  • 计算机控制扫描反射镜的旋转和摆动,使激光光束按照特定的轨迹偏转

  • 计算机控制安装在步进电机驱动的行星齿轮末端靶位,实现靶位定时切换

  • 准分子激光器的计算机控制系统,包括脉冲发射启动,停止,激光脉冲发射频率

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